O espalhamento inelástico é responsável pela geração de elétrons secundários.

O espalhamento elástico é responsável pela geração de elétrons secundários.

O espalhamento inelástico é responsável pela geração de elétrons retroespalhados.

O espalhamento inelástico causa um efeito colateral que resulta na difração de raio-X característico.

O espalhamento elástico causa um efeito colateral que resulta na emissão de fótons de raio-X característico.