Na formação dos feixes de raio X, os elétrons excitados saem do cátodo em direção ao ânodo.

O raio X característico é formado por fótons gerados da desaceleração dos elétrons que chocaram no cátodo.

Após a colisão dos elétrons no alvo, a maior parte da energia resulta na formação de radiação X e o restante é composto por calor.

A radiação de frenagem (Bremsstrahlung) é formada por fótons gerados da perda de energia dos elétrons do ânodo para os do cátodo.