Em microscópios eletrônicos de varredura dotados de canhões convencionais, o feixe de elétrons primário é gerado por um processo termoiônico, no qual um filamento de W é aquecido em ambiente de alto vácuo. Nos microscópios eletrônicos de varredura dotados de canhões do tipo Schottky-FEG (Field Emission Gun), o feixe de elétrons primário é gerado por