O termo gases residuais refere-se a gases que permanecem em um sistema de vácuo quando a maior parte da atmosfera que ocupava esse sistema foi previamente bombeada para fora. Embora esses gases possam estar presentes em concentrações traços, a sua presença ainda pode ser proibitiva para muitos processos industriais ou experimentos de pesquisa, em que a virtual ausência de gases residuais é condição prévia de sucesso.