O sistema de detecção de raios X por dispersão em energia permite uma análise espectral dos raios X gerados na amostra do espécime diretamente sob o feixe de elétrons. Isso possibilita informações químicas qualitativas, que são geralmente suficientes para identificação de minerais desconhecidos.

O microscópio eletrônico de varredura é principalmente utilizado para a obtenção de informações sobre as feições morfológicas superficiais de materiais na escala de micrômetros, incluindo a observação direta dos intercrescimentos cristalinos, texturas ou relações de reação.

A intensidade do sinal detectado em um detector de elétrons retroespalhados depende da massa atômica do espécime, seu eixo cristalográfico e do hábito cristalino; por isso é necessário polir a superfície da amostra para obter os melhores resultados.

O microscópio eletrônico de varredura pode ser acompanhado de um sistema de detecção de raios X por dispersão em energia que permite uma análise espectral dos raios X gerados na amostra do espécime diretamente sob o feixe de elétrons.