Para obtermos imagens nítidas no MET, devemos utilizar aparelhos providos com lâmpadas eletrônicas.

O filamento do MET normalmente é composto de uma mistura de tungstênio e ouro.

Sem vácuo na coluna do MET, os elétrons poderiam colidir com os átomos do ar. O vácuo é obtido por um sistema de bombas, normalmente, uma rotatória (ou rotativa) e outra de difusão.

Os elétrons são direcionados pela coluna abaixo, devido a uma diferença de voltagem entre o filamento de tungstênio-ouro e a placa ânodo. O feixe resultante é concentrado sobre o espécimen pelas lentes objetivas.