A interação dos elétrons com a amostra não gera aquecimento.

Os elétrons secundários (SE) e a radiação de raios X característicos originam-se de regiões com iguais profundidades na amostra.

Imagens formadas por elétrons retroespalhados (BSE) podem gerar contraste entre elementos atômicos mais pesados e mais leves presentes na amostra em estudo.

Os elétrons Auger são oriundos da fonte do canhão de elétrons do equipamento de Microscopia Eletrônica de Varredura e são empregados na Litografia por Feixes de Elétrons (EBL).

Os elétrons secundários (SE) são comumente utilizados para mapear os elementos químicos constituintes da amostras através da ferramenta de Espectroscopia por Energia Dispersiva (EDS).