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Respondida
1380462
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - CORRPL
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Tópicos avançados em microeletrônica
Para aumentar a anisotropia de corrosão por plasma RIE, é necessário:
A
Diminuir a potência e aumentar a pressão de gás.
B
Aumentar a frequência de gerador.
C
Diminuir a frequência de gerador.
D
Aumentar potência e diminuir a pressão de gás.
E
Aumentar potência e aumentar a pressão de gás.
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