O processo de litografia na fabricação de circuitos integrados é um dos passos sensíveis e do qual depende diretamente o nível de integração alcançado em um projeto. A qualidade deste processo é afetada pelas características do ambiente onde o trabalho é desenvolvido. Desta forma, tal processo é conduzido em um ambiente especial denominado sala limpa. A respeito deste tema, analise as asserções a seguir.

I) Uma sala limpa classe 100 é aquela projetada para ter no máximo 100 partículas de 0,5 μm por pé cúbico.

II) Todas as pessoas que acessam uma sala limpa devem vestir um jaleco por cima das roupas e, este é o vestuário mínimo para salas limpas de qualquer classificação.

III) Dependendo da classe da sala limpa, devem ser empregados filtros HEPA em geral construídos com papel de microfibra de vidro plissado, para partículas menores que 1μm.

Estão corretas as asserções: