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Respondida
1411795
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - LABANA
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Tópicos avançados em microeletrônica
A elipsometria espectral pode ser utilizada para análise de oxidação e corrosão em semicondutores. Assinale a alternativa que descreve o princípio dessa técnica de análise.
A
O espectro de emissão de fótons característicos de átomos ionizados é uma elipse característica de cada elemento ou substância.
B
Os elétrons arrancados da superfície de uma amostra descrevem uma trajetória elíptica característica.
C
Baseia-se a técnica na mudança de polarização da luz após a reflexão.
D
Baseia-se a técnica na análise de elétrons Auger por um analisador elíptico.
E
Baseia-se na absorção diferenciada da radiação polarizada em função da razão entre os eixos maior e menor de uma elipse.
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