Magna Concursos
1386771 Ano: 2012
Disciplina: Engenharia Eletrônica
Banca: FUNRIO
Orgão: CEITEC
Um passo da fabricação de circuitos integrados é a dopagem de um semicondutor com elementos dos grupos III e VI, a fim de formar uma junção PN. Para fazer isso, pode-se submeter a superfície de um wafer de silício (Si), inicialmente dopado com boro (B) uniformemente distribuído pelo wafer, a uma atmosfera rica em fósforo (P). Aquecendo-se o wafer, o fósforo (P) se difundirá pela superfície até uma profundidade em que a concentração de fósforo (P) e boro (B) seja a mesma. Essa profundidade é conhecida como largura da junção.
Considere um wafer de silício (Si) com concentração de boro (B) de 1016 átomos/cm3 submetida a uma atmosfera rica em fósforo (P) com concentração igual a 5 x 1018 átomos por/cm3 a 1000o C de temperatura. Considere ainda que, a 1000º C o coeficiente de difusão do fósforo (P) no silício (Si) é de 1,25 x 10-14 cm2/s e que a concentração inicial de fósforo (P) na superfície do wafer é igual a zero. O tempo, aproximadamente, para que o wafer seja mantido nessas condições para que a largura da junção seja igual a 1 μm será de:
(Utilize a tabela abaixo para valores da função erro).
Z erf z Z erf z
0,0
0,2
0,6
1,0
1,4
0,0000
0,2227
0,6039
0,8427
0,9523
1,6
1,8
2,0
2,6
3,0
0,9763
0,9891
0,9980
0,9998
1,0000
 

Provas

Questão presente nas seguintes provas