Em relação à técnica do EDS, espectros de raios-X podem ser obtidos para todos os elementos da tabela periódica, com exceção do hidrogênio. Entretanto, a emissão dos primeiros dez elementos de baixo número atômico consiste de bandas na região de baixa energia onde as perdas por absorção na amostra são grandes. Sendo assim, são exemplos de elementos que dariam medidas imprecisas os seguintes: