O gás hélio pode ser usado na detecção de vazamentos muito pequenos em câmaras de ultra-alto vácuo, pois sua molécula é pequena. Quando passa pelo vazamento e entra no sistema, esse gás é facilmente detectado por um espectrômetro de massa que esteja acoplado à câmara de ultra-alto vácuo, demonstrando que naquele lugar existe um vazamento que permitiu a entrada desse gás.