Proporciona imageamento de alta resolução e capacidade de micro-usinagem.

É aplicada na indústria de semicondutores para reparo e mascaramento de circuitos.

As imagens obtidas por microscopia eletrônica de varredura fornecem um contraste, para cristais com diferentes orientações, mais pobre do que a microscopia por feixe de íons focalizados.

Quanto maior for a densidade de uma amostra, mais elétrons secundários induzidos por íons serão gerados.