É uma técnica de análise elementar baseada na emissão da radiação eletromagnética, em comprimentos de onda específicos, por elementos ionizados e excitados por um plasma de argônio. Após excitação e relaxação, esses íons são analisados em um espectrômetro de massas.

A técnica permite a análise de metais tóxicos em matrizes diversas, tendo como principal vantagem a possibilidade de análise multielementar simultânea.

A técnica permite a determinação da abundância isotópica de elementos com isótopos de ocorrência natural.

A função do plasma é formar íons dos elementos presentes na amostra, que serão carreados para um espectrômetro de massas, onde serão analisados.

Na análise elementar de matrizes biológicas por ICP-MS, os compostos orgânicos da matriz precisam ser decompostos. A técnica de digestão assistida por micro-ondas é uma das técnicas empregadas na decomposição da matriz.