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Respondida
1389939
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - CORRPL
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Tópicos avançados em microeletrônica
São tipos de plasma de alta densidade:
A
ICP e ECR.
B
ICP e barril.
C
ICP e por acoplamento capacitivo.
D
Capacitivo e barril.
E
Plasma remoto.
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