A tensão de aceleração do feixe de elétrons incidente é um dos parâmetros importantes para a microanálise. A quantidade de fótons produzida por uma amostra em uma gama de energia varia em função da tensão de aceleração. Nesse caso, o máximo de fótons, em keV, que será produzido por uma tensão de aceleração de 15 kV é de: