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Respondida
1390934
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - FOTOLI
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Tópicos avançados em microeletrônica
Como é verificado o erro de alinhamento entre níveis na litografia?
A
Através das marcas de alinhamento.
B
Através de estruturas do tipo Verniers.
C
Por interferência ótica.
D
Pela medição da largura de linha.
E
Pela resolução do sistema ótico.
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