uma fração significativa dos elétrons que incidem perpendicularmente a uma superfície plana espessa, escapa pela mesma superfície.

elétrons Auger têm baixa energia e fornecem informações sobre a natureza química de uma camada fina da superfície da amostra,

os elétrons que sofrem espalhamento elástico, sendo defletidos para trás, são chamados de retroespalhados ou “back-scattered.

os elétrons secundários são aqueles arrancados do espécime durante o espalhamento inelástico.

os elétrons inelásticos têm espalhamento angular superior ao dos elásticos, sendo barrados pela abertura da lente objetiva do microscópio eletrônico.