Com a captura de elétrons das camadas K ou L, uma vaga no nível de energia eletrônica é deixada, elétrons externos do átomo caem em cascata para preencher os níveis atômicos dessas camadas e, geralmente, são emitidos um ou mais raios X característicos. Ás vezes, os raios X podem interagir com outro elétron orbital, que pode ser ejetado do átomo. Este fenômeno é chamado de: