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Respondida
1400052
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - DIFUSA
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Tópicos avançados em microeletrônica
Assinale a alternativa que apresenta as desvantagens da deposição química a partir de vapor em baixa pressão.
A
Temperatura elevada.
B
Contaminação química.
C
Cobertura de degrau pobre.
D
Contaminação por partículas.
E
Taxas de deposição excessivamente altas, o que dificulta o controle do processo.
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