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Respondida
1398358
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - FOTOLI
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Tópicos avançados em microeletrônica
O que é a litografia de três camadas?
A
Litografia composta de camada de planarização, camada de barreira e camada fotossensível.
B
Litografia composta de três camadas de fotorresiste depositadas sequencialmente.
C
Processo litográfico para o desenvolvimento de dispositivos de três camadas tipo MOS.
D
Litografia utilizada na fabricação de máscaras litográficas.
E
Processo alternativo a fotolitografia com resistes não sensíveis à luz.
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