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Respondida
1394721
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - DIFUSA
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Tópicos avançados em microeletrônica
A principal técnica utilizada na deposição de polissilício é
A
spin-on
.
B
deposição física a partir de vapor por
Sputtering
.
C
deposição química a partir de vapor melhorada por plasma.
D
deposição química a partir de vapor em baixa pressão.
E
deposição química a partir de vapor à pressão atmosférica.
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