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Respondida
1410477
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - FOTOLI
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Tópicos avançados em microeletrônica
Como é definida a tolerância que pode ser aceita em um processo litográfico?
A
Pelas regras de leiaute do CI em ¼ da menor dimensão do dispositivo.
B
Pela tecnologia, atualmente em 0,27 micrometros.
C
Pela resolução do sistema ótico, 4 vezes a resolução do sistema.
D
Pela resolução do sistema ótico, 4 vezes o comprimento de onda.
E
Pelo menor passo da alinhadora.
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