O diâmetro da fonte (crossover) é o ponto de partida para a colimação e focagem do feixe eletrônico sobre a amostra. Se o diâmetro do “crossover” for grande, pode haver perda de resolução ou as lentes magnéticas serão muito solicitadas para colimarem o feixe gerado. Num filamento de Tungstênio, o valor aproximado do tamanho da fonte (crossover) é: