Acerca da formação de filmes finos por deposição física em fase vapor (PVD), julgue os itens subseqüentes.
O processo de evaporação por aquecimento, via radiofreqüência, apresenta uma baixa taxa de deposição, quando comparado ao processo de deposição por aquecimento resistivo.
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Pesquisador do Inmetro - Superfícies e Filmes Finos
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