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1378500
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - CORRPL
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Tópicos avançados em microeletrônica
Na corrosão tipo RIE (reactive ion etching), o efeito sinergético aparece por causa de interação de que fatores?
A
Alta temperatura dos elétrons e dos íons.
B
Alta energia de íons e o aquecimento da amostra.
C
Alta energia de íons e o aquecimento do eletrodo.
D
Bombardeamento iônico e amorfização do material por radicais reativos.
E
Irradiação da amostra por fótons UV e bombardeamento iônico.
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