Questão 1384900

1384900 Ano: 2012
Disciplina: Engenharia Eletrônica
Banca: FUNRIO
Orgão: CEITEC

Provas:

Como se define a profundidade de foco em fotolitografia?

É a maior profundidade em que é projetada a imagem no fotorresiste sem que haja perda de definição das bordas.

É a maior área do fotorresiste iluminada durante a exposição litográfica.

É a distância em que deve ser colocada a lâmina de silício em relação à máscara litográfica.

É a espessura máxima do fotorresiste.

É a profundidade das trincheiras obtidas após a revelação do fotorresiste.

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