Questão 1386207

1386207 Ano: 2012
Disciplina: Engenharia Eletrônica
Banca: FUNRIO
Orgão: CEITEC

Provas:

Para a execução de uma implantação de íons, os seguintes parâmetros de processo devem ser selecionados:

Corrente elétrica e Campo Elétrico.

Energia e dose do feixe de íons, massa do íon e ângulos de inclinação e rotação da amostra.

Energia e dose do feixe de elétrons, massa do elétron e ângulo de inclinação da amostra.

Corrente e dose do feixe de íons, massa do elétron e sem ângulo de inclinação da amostra.

Corrente e dose do feixe de elétrons, massa do íon e sem ângulo de inclinação da amostra.

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