As formas mais comuns de observação de uma amostra por microscopia eletrônica de varredura são baseadas na detecção de elétrons:

1) de baixa energia, resultantes da interação do feixe incidente com os elétrons da amostra;

2) que sofreram espalhamento elástico ao interagir com a amostra.

Esses elétrons são, respectivamente, definidos como: