o mecanismo intersticial se dá pelo movimento dos átomos ou íons através dos interstícios das redes cristalinas, provocando o deslocamento permanente dos átomos ou íons da rede cristalina da matriz.

o mecanismo de difusão substitucional envolve o deslocamento de um átomo e/ou íon de uma posição normal da rede para um sítio vago do retículo cristalino.

a difusão intersticial ocorre mais lentamente do que a difusão por lacunas, uma vez que os átomos intersticiais são menores e mais móveis.

a 1ª Lei de Fick estabelece o processo de difusão em estado estacionário, enquanto que a 2° lei de Fick ocorre em condições de estado não-estacionário (condições transientes).