O feixe de elétrons produzido apresenta um diâmetro bastante reduzido tanto no modo de baixa energia quanto no de alta energia. Essas características contribuem para melhorar a resolução espacial e minimizar danos e sobrecargas elétricas nas amostras, produzindo imagens com pouca distorção eletrostática.

O feixe produzido apresenta diâmetro largo e é caracterizado pela alta energia dos elétrons. Esse feixe cobre uma área extensa da amostra, o que reduz o tempo de exposição e, consequentemente, os danos na mesma e garante uma alta resolução.

O feixe produzido apresenta diâmetro pequeno no modo de baixa energia, o que contribui para aumentar a velocidade de varredura e interferir na formação da imagem, limitando a resolução das medidas.

O feixe de elétrons produzidos apresenta diâmetro largo no modo de baixa energia dos elétrons. Dessa forma, o sistema apresenta alta velocidade de varredura, o que garante uma resolução espacial de 5 nm.

O feixe de elétrons produzido possui baixa energia e tem poder de penetração no material dez vezes maior que o feixe de elétrons do microscópio de varredura convencional, o que faz que o tempo de varredura seja pequeno e que a resolução das imagens seja de aproximadamente 10 nm.