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Respondida
1411067
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - CORRPL
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Tópicos avançados em microeletrônica
Maior seletividade em processos de corrosão de SiO
2
em comparação com Si, é obtida com misturas de gases incluindo:
A
O
2
e SF
6
B
Cl
2
e H
2
C
Cl
2
e Ar
D
CF
4
e H
2
E
SF
6
e H
2
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