as análises por EDS em MEV são obtidas pela detecção de fótons emitidos na forma de raios-X com energia característica para cada elemento químico, enquanto as análises por WDS são obtidas pela detecção de fótons emitidos na forma de raios-X com comprimentos de onda característicos para cada elemento químico.

as análises por EDS em MEV são obtidas por detecção de raio-X com comprimento de onda e frequência características, gerados pela interação entre elétrons primários do feixe e elétrons da amostra, enquanto as análises por WDS em ME são obtidas pela detecção de raios-X com energia e intensidade características dos elementos químicos que constituem a parte da amostra impactada pelos elétrons do feixe.

as análises por EDS são determinadas através da detecção de raios-X gerados por elétrons que se propagam na forma de radiação com energia característica, enquanto nas análises por WDS os raios-X são gerados por elétrons que se propagam na forma de radiação com comprimento de onda específico para cada elemento químico.

as análises por EDS em MEV são obtidas utilizando-se apenas um espectrômetro, que discrimina, segundo energias características, todo o espectro de radiação gerada pela interação entre o feixe de elétrons e a amostra, enquanto na ME são empregados entre quatro e cinco espectrômetros para discriminar o espectro da radiação gerada pela interação entre o feixe de elétrons e a amostra, segundo energias características para cada elemento químico presente.

as análises por EDS em MEV são obtidas pela quantificação dos comprimentos de onda dos raios-X gerados quando da interação entre os elétrons primários do feixe e átomos que compõem a região imediatamente adjacente à superfície da amostra, enquanto na ME as análises por WDS são obtidas através da quantificação da densidade de emissão de raios-X pela amostra, quando essa é impactada pelos elétrons primários do feixe.