O SF6 é um gás excepcionalmente estável e inerte, não apresentando sinais de mudança química para temperaturas em que os óleos isolantes são empregados. Na presença de arcos elétricos este sofre lenta decomposição, produzindo fluoretos de ordem mais baixa (como SF2 e SF4) que, embora tóxicos, recombinam-se para formar produtos não tóxicos imediatamente após a extinção do arco. Uma das aplicações do SF6 é o isolamento de subestações blindadas onde as partes energizadas são isoladas da blindagem por isoladores de resina sintética (ou outro material adequado) e SF6 pressurizado.