vestiário: sala onde as pessoas que usam a sala limpa podem colocar, ou retirar, a vestimenta de sala limpa.

núcleo de processo: série de inspeções, ajustes e ensaios, planejados e documentados, realizados sistematicamente para colocar a instalação em operação técnica correta, conforme especificado.

partícula: qualquer elemento, particulado ou não, molecular e biológico, que possa afetar adversamente o produto ou processo.

dispositivo de ar limpo: distribuição de ar na qual o ar insuflado na zona limpa mistura-se com o ar interno por indução.

comissionamento: ato de preparar e colocar uma instalação em serviço ativo, incluindo todos os sistemas.