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Respondida
1382797
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - CORRPL
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Tópicos avançados em microeletrônica
Quais as principais vantagens de plasmas de alta densidade tipo ICP (acoplamento indutivo) em comparação com plasmas com acoplamento capacitivo, para processos de corrosão?
A
Maior aquecimento de amostras durante a corrosão.
B
Controle independente de densidade do plasma e da autopolarização (self-bias).
C
Taxas de corrosão mais altas.
D
Danos em materiais menores.
E
Pressão de gás menor.
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