Geralmente, essa esterilização é feita à temperatura de 55 °C com tempo de exposição de duas horas. Caso a esterilização seja feita em temperaturas mais altas, o tempo de exposição também deve ser maior.

O material não necessita estar seco para ser esterilizado e a embalagem desse material deve ser impermeável para impedir as trocas gasosas durante o processo de esterilização.

O processo de aeração tem por objetivo ventilar para remover o gás contido no material. O tempo de aeração pode variar de seis horas a sete dias, de acordo com o tipo de material que foi esterilizado.

Entre as vantagens dessa metodologia, destaca-se sua ação bactericida, esporocida e virucida, porém a necessidade de trabalhar em altas temperaturas torna difícil seu armazenamento e manuseio.

Essa metodologia tem sido largamente utilizada devido ao baixo custo do equipamento, à não toxidade do gás etileno e à não necessidade de controle da concentração do gás, temperatura e umidade.