O vapor saturado envolve uma alteração de fase durante o processo, sendo capaz de transferir menor quantidade de calor à carga, o que resulta em ciclos mais longos.

Correlatos de medicamentos ou equipamentos de processo, instrumentos eletrônicos, algumas matérias-primas farmacêuticas e cosméticos, entre outros itens que não podem tolerar altas temperaturas, são frequentemente esterilizados com gases oxidantes, como óxido de etileno e peróxido de hidrogênio e vapores como ácido paracético e ozona.

O calor seco em túneis é utilizado para esterilização contínua de frascos/ampolas de vidro e é comumente integrado ao processo de lavagem no início do túnel, disponibilizando as unidades de acondicionamento despirogenizadas na máquina de enchimento.

A filtração consiste em um método de esterilização alternativo e é usada para remover micro-organismos e material particulado, porém restringe-se às apresentações líquidas.

A esterilização por irradiação é capaz de permitir a aplicação em materiais termossensíveis. As irradiações podem ser particuladas (prótons e nêutrons) e eletromagnéticas (raio alfa e raio X).