Entre as principais vantagens do processo de implantação de íons, citam-se:
1) Pode ser executado em temperatura ambiente.
2) Apresenta controle preciso da profundidade de penetração do íon na amostra implantada.
3) Apresenta excelente controle da concentração de íons inseridos na amostra implantada.
Quais dessas vantagens estão corretamente identificadas?
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