o limite de detecção para análise de elementos-traço por EDS em MEV é cerca de uma ordem de grandeza mais baixo do que o limite de detecção para análise desses mesmos elementos em ME.

os resultados obtidos por EDS em MEV são considerados representativos quando são determinados para elementos com teores acima de 1.000 ppm (ou 0,1% em peso), enquanto os resultados obtidos por WDS em ME são representativos quando determinados para elementos com teores acima de aproximadamente 200 ppm (ou 0,02% em peso).

as análises químicas por EDS em MEV são qualitativas para qualquer teor do elemento a ser identificado, enquanto as análises por WDS em ME são quantitativas, também para qualquer teor do elemento a ser identificado.

as determinações químicas por EDS em MEV em geral não utilizam padrões, portanto os resultados analíticos obtidos por esse método são semiquantitativos para elementos-traço e qualitativos para elementos maiores, enquanto os resultados analíticos obtidos por WDS em ME são semiquantitativos para elementostraço e quantitativos para elementos maiores.

as análises químicas por EDS em MEV em determinado material mostram uma maior precisão e menor acurácia quando comparadas às análises realizadas por WDS em ME nesse mesmo material.