Os equipamentos que usam o sistema de baixo fluxo suprem o oxigênio com fluxos inferiores em relação ao volume inspiratório do indivíduo, normalmente de 1 a 10 L por minuto.

Existem três tipos de máscaras: a simples, a de reinalação parcial e a de não reinalação. A máscara simples libera maior concentração de oxigênio e a de maior fluxo corresponde a de não reinalação, pois libera menor concentração.

A cânula nasal varia de tamanho quando utilizada para adultos ou crianças.

Para o cateter nasal, são necessários uma fonte de oxigênio, circuito de conexão, umidificador com água, fluxômetro e aviso de “não fumar”.