As trajetórias dos íons de mesma energia dentro do substrato não são idênticas, pois a perda de energia resultante das colisões é um processo aleatório, o que resulta em um espalhamento espacial. Os alcances dos íons implantados (“ion ranges”), isto é, as posições onde os íons alcançam o repouso dentro do substrato, obedecem a uma distribuição espacial denominada de distribuição de alcances. Dessa forma, estabelece-se um perfil de distribuição dos íons implantados dentro do substrato. Como são denominados os alcances dos íons implantados?