Um sistema de inspeção óptica de alta precisão em semicondutores utiliza um feixe de luz de uma fonte coerente que passa por um polarizador linear e é direcionado para uma amostra. A luz refletida pela superfície da amostra é então focalizada em uma rede de difração. O padrão de luz resultante é capturado por um detector CCD, onde a análise das franjas de brilho e escuridão permite inferir propriedades nanométricas do material. A interação dos fenômenos ópticos nesse processo é: