Como o óxido de etileno é inflamável, deve ser combinado com um gás transportador inerte como dióxido de carbono ou nitrogênio.

É um processo de esterilização muito pouco usado, porque necessita de temperaturas elevadas.

O processo é realizado em um ciclo curto de, no máximo, 1 hora.

Os produtos esterilizados devem ser colocados em embalagens impermeáveis ao ar, vapor de água e óxido de etileno.

Os produtos esterilizados podem ser utilizados imediatamente após o ciclo de esterilização ser completado e ter alcançado a temperatura ambiente.