O ETO substitui um átomo de hidrogênio do grupo do organismo por um grupo alquilo, e esta ligação inibe a produção de proteínas específicas.

Os fótons de alta energia são emitidos a partir de uma fonte de isótopos produzindo ionização ao longo do produto. Essas perturbações resultam em danos ao DNA, provocando a morte celular e inibindo a reprodução do microrganismo.

O processo consiste em manter o material contaminado em contato com o vapor de água em temperatura elevada por um período de tempo suficiente para matar todos os microrganismos.

Essa técnica não aumenta significativamente a temperatura dos produtos (sendo conhecida como um processo a frio) e pode ser usada para esterilizar com segurança, principalmente materiais sensíveis ao calor.