O conceito de exatidão de um instrumento de medição é normalmente confundido com o conceito precisão. Enquanto que o primeiro está relacionado com a dispersão da medição em torno de um valor médio, o segundo relaciona-se com a diferença entre a média do valor verdadeiro e a média do valor medido.

A histerese é a propriedade de um elemento sensor evidenciada pelo desvio no seu sinal de saída para uma mesma entrada, ocasionado por diferença na excursão anterior da entrada.

A sensibilidade de um elemento sensor é caracterizada pela razão entre a variação na sua saída pela variação na entrada, em regime permanente.