O plasma indutivamente acoplado é formado pela mistura de um gás combustível (em geral, acetileno) e um gás oxidante (em geral, ar atmosférico), atuando como fonte de íons.

Instrumentos de ICP OES com capacidade de detecção multielementar não estão comercialmente disponíveis, embora a técnica possua potencial para esta aplicação.

A técnica de ICP OES pode ser empregada para a determinação de metais representativos e de transição, mas não é aplicável à determinação de metaloides e halogênios.

O plasma indutivamente acoplado atua como fonte de excitação, produzindo populações de átomos excitados comparativamente maiores em relação a uma chama ar-acetileno para diversos elementos da Tabela Periódica.

A técnica de ICP OES é relativamente livre de interferências espectrais, particularmente quando comparada à espectrometria de absorção atômica em chama, devido ao reduzido número de linhas espectrais de emissão dos diferentes elementos químicos, quando comparado ao número de linhas de absorção.