Os elétrons Auger e os raios X são medidos simultaneamente e, em princípio, fornecem informações sobre a composição da amostra. A diferença entre esses sinais está na profundidade da amostra onde os mesmos são gerados.

O raio X e o elétron Auger são resultantes de ionizações de camadas internas, e a propagação do raio X e a do elétron Auger na amostra ocorrem de forma semelhante.

A interação elástica entre o feixe de elétrons primários e os elétrons de camada mais interna do átomo resulta na formação de radiação característica do átomo.

As informações qualitativas acerca da composição da amostra em escala microscópica são obtidas a partir das informações contidas no espectro de raios X; entretanto, não é possível obter informações quantitativas.

O sinal do elétron retroespalhado é um sinal de menor energia que o do elétron secundário, mas é emitido de regiões mais profundas do material analisado.