Emissor compatível com o gun do SEM (filamento W/LaB₆); Jogo de aperturas (condensadora/objetiva) com parafusos/assentos; Conjunto do detector SE (Everhart– Thornley): cintilador + light guide sobressalentes; Kit da foreline: óleo ( bomba rotativa) e filtro de névoa; Vedantes/Orings (porta, load-lock) e graxa UHV.

Bobinas/lentes (objetiva/condensadoras); Turbobomba do alto vácuo; controlador de turbo; Emissor compatível com o gun do SEM (filamento W/LaB₆); Módulo SDD (EDS), préamplificador; EBSD (câmera/estágio).

Módulo SDD (EDS), pré-amplificador; EBSD (câmera/estágio); Conjunto do detector SE (Everhart–Thornley): cintilador + light guide sobressalentes; Vedantes/O-rings (porta, load-lock) e graxa UHV.

Turbobomba do alto vácuo; controlador de turbo; Conjunto do detector SE (Everhart–Thornley): cintilador + light guide sobressalentes; Jogo de aperturas (condensadora/objetiva) com parafusos/assentos.

Fontes DC internas; Kit da foreline: óleo ( bomba rotativa) e filtro de névoa; Vedantes/O-rings (porta, load-lock) e graxa UHV; Jogo de aperturas (condensadora/objetiva) com parafusos/assentos.